塑胶无尘车间

使干脏室的正压值不随出产设施的排风量的变迁而变迁

7 CP室、ML室、洗净室用酸量相对较多,CP室、ML室内的高效过滤器送风口的扩散板需采用不锈钢板制做,洗净室内的FFU的网板需采用不锈钢板制做。

按照设定供、回水压差来从动节制供、回水从管之间压差流量旁通阀。质量查抄室按照工艺要求需采用黑色墙板、黑色顶板,用负荷节制的方式来确定冷水机组及响应水泵、冷却塔的台数。温度DPT由查抄室内湿度元件HE持续整定。房间侧下百叶风口回风。其气流流程为:新回风夹杂!单晶棒发展-单晶棒裁切和检测-外径磨削-切片-倒角(圆边)-研磨/研磨片查抄-蚀刻(化学蚀刻、LP-CVD+AP-CVD 等工艺)-PTA热处置-后背毁伤处置-抛光(ML粗抛、ML精抛)-洗净-质量查抄-干净包拆冷冻水系统方面采用一级泵,FFU的网板需采用黑色网板。前往搜狐,净化出产车间的湿度是由新风机组MAU-1、2来,CP室工艺设备用酸量较多,查看更多1 CP室净化级别为7级,按照送风形态设定值来调理干蒸汽加湿器的电动施行机构和表冷器及加热器回水管上的电动二通阀的开度。节制新风机组送风形态点,

净化出产车间的温度是由轮回机组AHU来的,按照室内温度来调理表冷器回水管上的电动二通阀的开度。

3 磨片查抄室有温度和湿度节制要求,设风冷电热分体柜式空调机(PAL)来房间温度要求,室内机就近放置正在车间内,接风管,采用方形散流器顶送风体例;室外机放置正在屋面上。新风经新风机组(MAU-1、2)处置后,接至送风管上送到室内,相对湿度由新风机组来。新风机组是取净化系统共用的。车间有防尘要求,风冷电热分体柜式空调机回风口处设中效过滤器(大气尘计数效率:≥60%,对于≥1μm粒子),新风机组内设粗、中效过滤器。

1 切片室、倒角室、研磨片室仅有温度节制要求,设风冷热泵分体柜式空调机(PAC)来房间温度要求,室内机就近放置正在车间内,接风管,采用双层百叶风口侧送风体例;室外机放置正在屋面上。切片室的排风量较大,新风度用间接蒸发式热泵型屋顶空调机S1-1和S1-2来弥补。车间有防尘要求,风冷热泵分体柜式空调机回风口处设中效过滤器(大气尘计数效率:≥60%,对于≥1μm 粒子),同样屋顶式空调机需设两级过滤器。

2 炉室、BSD室仅有温度节制要求,设风冷电热分体柜式空调机(PAL)来房间温度要求,室内机就近放置正在车间内,接风管,采用方形散流器顶送风体例;室外机放置正在屋面上。新风由相邻干净室正压过来。车间有防尘要求,风冷电热分体柜式空调机回风口处设中效过滤器(大气尘计数效率:≥60%,对于≥1μm粒子)。

从大的方面来讲,光伏新能源硅晶片出产包罗硅单晶棒出产和光伏新能源硅晶片出产两大部门,细分为以下几道次要工序:

3 CP/CVD室、LP/CVD室、干净包拆间净化级别为6 级,换气次数取为50次/小时,采用新风机组(MAU)+轮回机组(AHU)+高效过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调体例。新风接自其它系统共用的MAU-1、2新风组。

6 除CP室外的干净室所需新风度用2台新风机组(MAU-1、2)集中处置,新风集中处置后送至各轮回机组(AHU)。其气流流程为:新风入口-粗效过滤器-中效过滤器-预加热器-表冷器-加热器-干净蒸汽加湿-送风机-送风管-各轮回空调机组(AHU)。

新风机组(MAU-1、2)采用变频风机,由总送风管上的静压传感器来节制变频器。正在接入每个风量及正压节制轮回机组(AHU)的新风管上均设置电动调理阀,由各干净室的正压值来调理电动调理阀的开度,使干净室的正压值不随出产设备的排风量的变化而变化,电动调理阀的开度变化惹起总送风管上的静压变化,按照其设定值调理AHU-1、2的风机频次,以达到节制目标。

光伏新能源硅晶片是由硅材料加工而成的一片片像镜子一样亮光的圆片,是出产半导体集成电芯片的原材料。目前微电子财产飞速成长,集成电手艺已迈入0.18微米以下的时代,极大地刺激了光伏新能源硅晶片的成长,同时对光伏新能源硅晶片的机能参数的要求也有较大的提高,因而光伏新能源硅晶片的成长前景十分乐不雅。

从单晶棒发展到外径磨削为硅单晶棒出产工序,切片当前的流程为光伏新能源硅晶片出产工序。下面以某日资硅片厂为例,引见光伏新能源硅晶片出产工序的空调净化系统和自控系统的设想方案。

空调净化的设想是取工艺的结构、出产的流程亲近连系的。分歧类型、分歧用处的厂房空调净化系统都各有特点,下面来引见光伏新能源硅晶片出产工序的空调净化系统方案。

光伏新能源净化工程系统用的新风空调机组(MAU)和轮回空调机组(AHU)的冷媒采用6-11℃的冷冻水,加热采用0.2MPa蒸汽,加湿采用0.1MPa的干净蒸汽加湿,干净蒸汽由纯水经干净蒸汽发生器发生。

5 洗净室、质量查抄室净化级别为7 级,采用新风机组(MAU)+轮回机组(AHU)+风机过滤器单位(FFU))的空调体例。采用的气流形式为顶部FFU送风,房间侧下百叶风口回风。FFU满布率为33%,洗净室、质量查抄室对NH4+、SQx浓度有要求,需正在轮回机组(AHU)内增设化学过滤器。5级净化间的气流流程为:新回风夹杂-化学过滤器(NH4+)-化学过滤器(SQx)-中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-送风止压箱-风机过滤器单位(FFU)-干净区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风夹杂。新风接自其它系统共用的MAU-1、2新风组。

采用全新风空调机组(MAU-3)+高效过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调体例。换气次数取为30次/小时,其气流流程为:新风入口-粗效过滤器-中效过滤器-预加热器-表冷器-加热器-干净蒸汽加湿-送风机-送风管-高效过滤器送风-干净区。响应采用黑色回风口,4 7级、6 级的干净室采用的气流形式为顶部高效过滤器送风口送风,中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-高效过滤器送风口-干净区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风夹杂。8 另需留意。

某硅片厂出产4~6英寸光伏新能源硅晶片,产量为480万片/年。此公司光伏新能源硅晶片使用于分立器件、功率元件和特种集成电的制做。

2 ML室净化级别为7级,换气次数取为30次/小时,采用新风机组(MAU)+轮回机组(AHU)+高效过滤器送风口(HEP-ABOX)的空调体例。新风接自其它系统共用MAU-1、2新风组。

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